- 304 不銹鋼結(jié)構(gòu),帶 Elgiloy 彈簧
- 溫度100°C
- 通過(guò)降低初始抽速來(lái)減少系統(tǒng)中的湍流*
- 非常適合對(duì)系統(tǒng)內(nèi)顆粒破壞敏感的應(yīng)用(半導(dǎo)體、薄膜等)
- 在對(duì)系統(tǒng)進(jìn)行排氣時(shí),也可與排氣閥一起使用,以避免過(guò)高壓差和高湍流
- 有助于防止基材損壞
- 取代昂貴的壓力控制旁通閥
- 在測(cè)試期間12 毫秒快速關(guān)閉葉片 或更好**
- 無(wú)需電源即可運(yùn)行
*使用軟啟動(dòng)止回閥的典型抽空時(shí)間增加了 3 倍。
**測(cè)試時(shí)間使用 27 CFM 泵抽空 100 升的體積測(cè)量。結(jié)果會(huì)因系統(tǒng)配置而異。